FPD露光装置

FPD露光装置 MPAspシリーズ

ミラープロジェクション・マスクアライナーMPAspシリーズに代表されるFPD関連の露光装置には、常に量産性と今後への発展性を考慮した数多くの機能や技術が盛り込まれています。
アレイプロセス、カラーフィルタープロセス、タッチパネルプロセスに対応した露光装置ラインアップをそろえ、キヤノンは露光工程分野での、高機能・高生産性を有するMPAシリーズでサポートし続けます。

FPD露光装置 製品ラインアップ

MPAsp-E903T

第6世代基板サイズ 1,500ミリ×1,850ミリに対応した高精細FPD露光装置

MPAsp-E813H

第6世代基板サイズ 1,500ミリ×1,850ミリに対応したFPD露光装置

MPAsp-H1003H/H1003T

第8世代基板サイズ 2,200ミリ×2,500ミリに対応したFPD露光装置

FPD露光装置 動画紹介

MPAsp-E903T
MPAsp-H1003T
MPAsp-H1003H

FPD露光装置に関する
お問い合わせについて

キヤノン株式会社
光機営業統括センター 第三営業部

電話番号 03-5732-8776