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FPD露光装置
MPAsp-H803/H763
第8世代基板サイズに対応したFPD露光装置

  • 概要
  • 仕様

基本情報

装置名:MPAsp-H803/H763

特長

第8世代ガラス基板での高精細パネル生産

私たちの身近にある大画面TVはFHDから4K/8Kへと画質の向上が進んでいます。更に、OLED TVのニーズも高まっていることから、高精細パネルへの要求が強まっています。MPAsp-H803は、第8世代ガラス基板(2200×2500mm)で、高精細パネルの生産を実現しました。

図:基板サイズの推移

"基板サイズの推移"

解像力とオーバーレイ精度の向上

ディスプレイ生産において、20年以上実績を持つ光学系の基本コンセプトを踏襲しつつ、キヤノン独自の高精度な光学加工技術を採用することで、大画面、高精細TVの生産に対応した解像力、オーバーレイを実現しています。
これにより、MPAsp-H803では、世界最高レベルの解像力2.0μm(L/S) を達成しました。

高生産性&高稼働率

繋ぎムラがなく、広い露光フィールドを確保できる一括露光方式により、高精細パネルを効率的に生産することができます。
本体剛性アップに伴い、ステージ精度が向上し、これにより高い稼働率を維持しております。

大画面への対応

TV市場では、更なる大画面かつ高精細なパネルの生産が期待されています。キヤノン独自の方式を用いることにより、最大110インチまでの大型ディスプレイパネルの生産を実現しました。

基本仕様

MPAsp-H803

解像力
2.0μm(L/S)
オーバーレイ精度
±0.5μm
投影光学系
等倍反射投影光学系
縮小比
1:1(等倍)
マスクサイズ
850mm×1,400mm
最大基板サイズ
2,200mm×2,500mm
一括露光領域
750mmx1,320mm(58型ワイドTV相当)
外形寸法
9,000(幅)×11,600(奥行)×5,900(高さ)mm

MPAsp-H763

解像力
2.5μm(L/S)
オーバーレイ精度
±0.6μm
投影光学系
等倍反射投影光学系
縮小比
1:1(等倍)
マスクサイズ
850mm×1,400mm
最大基板サイズ
2,200mm×2,500mm
一括露光領域
750mmx1,320mm(58型ワイドTV相当)
外形寸法
9,000(幅)×11,600(奥行)×5,900(高さ)mm