FPD露光装置MPAsp-H803/H763第8世代基板サイズに対応したFPD露光装置

- 概要
- 仕様
基本情報
装置名:MPAsp-H803/H763
特長
第8世代ガラス基板での高精細パネル生産
私たちの身近にある大画面TVはFHDから4K/8Kへと画質の向上が進んでいます。更に、OLED TVのニーズも高まっていることから、高精細パネルへの要求が強まっています。MPAsp-H803は、第8世代ガラス基板(2200×2500mm)で、高精細パネルの生産を実現しました。
"基板サイズの推移"
解像力とオーバーレイ精度の向上
ディスプレイ生産において、20年以上実績を持つ光学系の基本コンセプトを踏襲しつつ、キヤノン独自の高精度な光学加工技術を採用することで、大画面、高精細TVの生産に対応した解像力、オーバーレイを実現しています。
これにより、MPAsp-H803では、世界最高レベルの解像力2.0μm(L/S) を達成しました。
高生産性&高稼働率
繋ぎムラがなく、広い露光フィールドを確保できる一括露光方式により、高精細パネルを効率的に生産することができます。
本体剛性アップに伴い、ステージ精度が向上し、これにより高い稼働率を維持しております。
大画面への対応
TV市場では、更なる大画面かつ高精細なパネルの生産が期待されています。キヤノン独自の方式を用いることにより、最大110インチまでの大型ディスプレイパネルの生産を実現しました。
基本仕様
MPAsp-H803
- 解像力
- 2.0μm(L/S)
- オーバーレイ精度
- ±0.5μm
- 投影光学系
- 等倍反射投影光学系
- 縮小比
- 1:1(等倍)
- マスクサイズ
- 850mm×1,400mm
- 最大基板サイズ
- 2,200mm×2,500mm
- 一括露光領域
- 750mmx1,320mm(58型ワイドTV相当)
- 外形寸法
- 9,000(幅)×11,600(奥行)×5,900(高さ)mm
MPAsp-H763
- 解像力
- 2.5μm(L/S)
- オーバーレイ精度
- ±0.6μm
- 投影光学系
- 等倍反射投影光学系
- 縮小比
- 1:1(等倍)
- マスクサイズ
- 850mm×1,400mm
- 最大基板サイズ
- 2,200mm×2,500mm
- 一括露光領域
- 750mmx1,320mm(58型ワイドTV相当)
- 外形寸法
- 9,000(幅)×11,600(奥行)×5,900(高さ)mm