半導体露光装置

FPA-3030i5+

グリーンデバイス、MEMSデバイス向け i線ステッパー

基本情報

装置名：FPA-3030i5+

特長

ノンクリティカルデバイス量産モデル i線ステッパー“FPA-3030i5+”

• 100mm（4inch） ～ 200mm（8inch）の幅広いウエハーサイズ対応
• 5inch ～ 6inch レチクルインチサイズ対応
• ロングセラー FPA-3000プラットフォームによる高信頼性
• 高NA（0.63）による□22mm画面サイズ一括露光可能

高解像度 i線レンズの搭載

22mm×22mmの画角において、NA0.63を実現した1:5縮小倍率投影レンズを搭載しているi線ステッパー。350nm以下の解像力が、様々な分野のデバイス量産をサポートいたします。

ロングセラー FPA-3000プラットフォームによる高信頼性

1994年のFPA-3000i4発売から長期間にわたり数多くのお客さまにご愛用頂いているFPA-3000プラットフォームが高い信頼性をお約束。FPA-3030i5から採用の6軸非接触型のウエハーステージに加え、フォーカスシステムの改良により、高スループットを実現しています。

様々な装置使用環境に対応した搬送系

100ｍｍ（4inch）～ 200ｍｍ（8inch）の幅広いウエハーサイズに対応可能なウエハー搬送系と5inch・6inchレチクルに対応したレチクル搬送系が、お客さまの装置使用環境にフレキシブルに対応します。

基本仕様