キヤノンは、公益社団法人発明協会が主催する令和元年度全国発明表彰において、「位置合わせ速度と精度を両立させたディスプレイ用露光装置の発明」（特許登録第6185724号）で、「日本経済団体連合会会長賞」を受賞しました。
本発明が初めて搭載されたディスプレイ用露光装置
「MPAsp-E813H」（2014年発売）
全国発明表彰は、日本の科学技術の向上と産業の発展に寄与することを目的に、公益社団法人発明協会が、多大な功績をあげた発明を表彰するものです。本発明は、高精細有機ELディスプレイの生産に用いられ、ハイエンドスマートフォンの急速な普及に大きく貢献しています。
本発明は、ディスプレイ用露光装置において、原版と基板との位置合わせ速度の向上と、基板上の既存パターンに対する次工程パターンの重ね合わせ精度の向上を両立させたものです。
高精細ディスプレイの製造には、基板上のパターンに対して原版のパターンを変形投影し、これらのパターンを正確に重ね合わせる必要があり、特に、パターンの歪みを高速かつ高精度に計測することが求められます。本発明では、従来のアライメントスコープに加えて、投影光学系を介さずに歪み計測を行うオフアクシスアライメントスコープを導入し、これらを併用することで、高速かつ高精度な歪み計測を実現しました。
| 日本経済団体連合会会長賞 | 長野 浩平 （キヤノン株式会社 光学機器事業本部 室長） |
| 八木 規行 （キヤノン株式会社 光学機器事業本部 室長） | |
| 大手 啓介 （キヤノン株式会社 光学機器事業本部 主任研究員） | |
| 発明実施功績賞※ | 御手洗 冨士夫 （キヤノン株式会社 代表取締役会長CEO） |
本発明が初めて搭載されたディスプレイ用露光装置
2.73MB（4000px×3000px）
