産業機器

長年にわたり磨き上げてきた独自の光学技術や画像処理技術を産業用の機器に応用することで、幅広い産業分野のニーズに応える製品を展開しています。

半導体・ディスプレイ製造装置

半導体露光装置

ナノメートル単位の電子回路をつくる半導体露光装置。
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FPD露光装置

ガラス基板にマイクロメートル単位の電子回路をつくるFPD露光装置。
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有機ELディスプレイ製造装置

真空蒸着技術により、スマートフォンやテレビ用の有機ELパネルの量産を実現。
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スパッタリング装置

半導体チップの高集積化において重要な役割を担う成膜装置。
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MRAM製造装置

次世代メモリーとして期待されているMRAMの量産を実現。
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ダイボンダー

ICチップをリードフレーム上に速く正確に固定する装置。
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三次元外観検査装置

ワイヤボンディング工程においてデバイス検査の自動化・効率化に貢献する装置。
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電子部品製造装置

原子拡散接合装置

金属膜の強固な接合を超高真空下で実現する量産用接合装置。
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基板用コイニング装置

半導体パッケージ基板上の半田バンプをプレスして、バラツキを均一にする装置。
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複合現実システム

MRシステム

リアルタイムで現実世界と仮想世界を融合。実寸大かつ臨場感のある3D映像を通した検証が可能。
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金型・射出成型機

プラスチック成形用金型

加熱して溶かした樹脂を成形する高精度、高耐久、高生産性の精密金型。
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小型射出成形機/三次元加工機

樹脂部品の成形と金型部品の加工を、スピーディーかつコンパクトサイズで実現。
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歯科用ミリングマシン

歯の詰め物などを加工する装置。使いやすさを重視した操作性と高速・高精度な加工を両立。
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選別装置

[NEW] プラスチック選別装置

独自のトラッキング型ラマン分光技術により、黒色プラスチック片の選別を可能にした装置
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制御機器向けコンポーネント

デジタルガルバノスキャナー

レーザー光をピンポイントで照射できるようにする制御装置。レーザーマーカーや3Dプリンターなどで使用。
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高精度レーザ穴あけスキャンシステム

ガルバノスキャナーを搭載したレーザー微細加工向け走査ヘッドで、微細な大きさの丸や四角形などの穴あけをテーパ―レスで加工可能。
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レーザーロータリーエンコーダ

半導体レーザーを採用し、超小型化と高パルスを実現した高精度な回転角度センサー。
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超小型光学式エンコーダ

カスタマイズ性の高いチップタイプエンコーダで、量産時の組み込み調整が容易。
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計測機器

表面反射アナライザー

光沢度、曇り度、写像性、拡散度、BRDFを1台で同時に計測できる測定器。
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レーザードップラー速度計

独自の回折レーザー光ドップラー方式を採用した非接触速度センサー。
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非接触測長計

独自のプロファイルマッチング方式により高加速度追従が可能な非接触式の測長計。
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力覚センサ

内製エンコーダを採用した独自の光学式エンコーダ方式により薄型軽量および高精度測定を実現した6軸力覚センサ
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FA関連製品

FAソリューション

産業用カメラを利用し、工場の生産ラインの点検や検品を効率化。
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3Dマシンビジョンシステム

高速かつ高精度の部品ピッキングを可能にするロボットの眼。
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産業用カメラ

4Kカメラ

4K対応の高精細映像を実現するヘッド分離型3CMOSカメラ。内視鏡や顕微鏡などで使用。
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Full HDカメラ

医療用や産業用モニタリングに貢献。3CMOSカメラや1CMOSカメラをラインアップ。
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マシンビジョン(PoCL対応)

1本のケーブルで電源給電が可能な3CMOSカメラ。生産ラインに設置し、パターン認識などに利用。
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