半導体露光装置
ものづくり発想で、革新をつくる。キヤノンの半導体露光装置
半導体デバイスの製造で最重要な工程となるのが、原画となる回路パターンを転写するリソグラフィ工程。この工程の主要部分を占めるのが露光装置。キヤノンでは、半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光装置群を取り揃えています。
キヤノングループの半導体露光装置の製造プロセスは、こちらをご覧ください。
半導体露光装置ラインアップ
KrFスキャナー/ステッパー
i線ステッパー 前工程向け
i線ステッパー 後工程向け
ナノインプリントリソグラフィ
半導体製造向け関連装置
半導体露光装置向けサービス
ソリューションプラットフォーム
動画