ものづくり発想で、革新をつくる。キヤノンの半導体露光装置
半導体デバイスの製造で最重要な工程となるのが、原画となる回路パターンを転写するリソグラフィ工程。この工程の主要部分を占めるのが露光装置。キヤノンでは、半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光装置群を取り揃えています。
お知らせ
- 2023年10月13日
- ナノインプリントリソグラフィ技術を使用した半導体製造装置を発売
シンプルな仕組みで微細な回路パターン形成を実現し幅広い半導体製造を実現
半導体露光装置ラインアップ
KrFスキャナー/ステッパー
i線ステッパー 前工程向け
i線ステッパー 後工程向け
ナノインプリントリソグラフィ
半導体製造向け関連装置
半導体露光装置向けサービス
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半導体露光装置に関するお電話のお問い合わせ
キヤノン株式会社 光機営業統括センター
電話番号 03-5732-8770