半導体露光装置

ものづくり発想で、革新をつくる。キヤノンの半導体露光装置

半導体デバイスの製造で最重要な工程となるのが、原画となる回路パターンを転写するリソグラフィ工程。この工程の主要部分を占めるのが露光機。キヤノンでは、半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光機群を取り揃えています。

KrFスキャナー／ステッパー

FPA-6300ES6a

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高生産性KrFスキャナー

FPA-6300ESW

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大画角 高生産性KrFスキャナー

FPA-3030EX6

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IoT関連デバイス向けKrFステッパー

i線ステッパー 後工程向け

FPA-5520iV
HRオプション / LFオプション

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高解像力／広画角のオプションラインナップを充実させた先端パッケージング向けi線ステッパー

FPA-8000iW

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大型四角基板対応と解像力1.0マイクロメートルを両立したi線ステッパー