- 概要
- 仕様
基本情報
装置名：FPA-6300ESW
特長
大画角レンズを搭載
投影倍率の変更（1:4 → 1:3.125）により、レチクルサイズは6インチのままで大画角化を実現しました。
33mm x 42.2mmを一括露光出来る事から、フルサイズCMOSイメージセンサーもスティッチング※を行わずに露光出来る世界で唯一のKrFスキャナーです。
- ※スティッチング露光
デバイスの一工程を露光するにあたり、スクライブライン領域を挟まずに二つ以上の露光領域を接続して露光する手法の事。接続部での位置ズレ精度が歩留まりに直接影響を及ぼす。
実績のあるFPA-6300ES6aプラットフォームを流用
既に半導体製造前工程KrFスキャナーに採用されており市場で好評を得ているFPA-6300ES6aを全面的に流用しており、FPA-6300ES6aと同等な稼働率と信頼性を実現します。また、拡張性のあるプラットフォームである事から、生産性およびオーバーレイ精度に対する現地レトロ可能なアップグレードプランをご提供出来ます。
基本仕様
| 解像力 | ≦130nm |
|---|---|
| NA（開口数） | 0.45〜0.70（自動可変） |
| 縮小比 | 1:3.125 |
| 画面サイズ | 33mm × 42.2mm |
| 焼付け波長 | KrF 248nm |
| レチクルサイズ | 6inch |
| ウエハーサイズ | 300mm（12inch） |
| 重ね合わせ精度 | ≦9nm |
| 装置サイズ（本体） | （W）2,300×（D）5,155×（H）2,900mm |
| 主要オプション | AFIS照明系 SMIF OHT対応 PCリモートコンソール GEM対応オンラインソフト ペリクル検査装置 |