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基本情報
装置名:FPA-5550iZ2
特長
i線露光装置として最高水準※1の生産性と重ね合わせ精度を実現
アライメント・露光・ウエハー搬送シーケンスの最適化によるウエハー処理時間の短縮と、計測・キャリブレーション処理の高速化によるウエハーロット交換時間の短縮で、同等クラスのi線露光装置として最高水準の生産性(ウエハー処理能力)※1を実現しております。
キヤノン独自の技術であるショットの縦横倍率差とskew(スキュー)成分※2を補正出来る、ショット形状補正機能「SSC(Shot Shape Compensator)」を投影光学系に搭載する事で、露光領域を一括で露光するステッパーでありながら、ショットごとに下地レイヤーの形状に合わせて、重ね合わせ露光をすることで、実プロセスでの重ね合わせ精度の向上を実現しております。
- ※1 同等クラスのi線ステッパーにおいて、2016年12月14日現在(キヤノン調べ)。
スループットは、従来機「FPA-5550iZ」の初号機と比較して約20%向上(露光条件:300mmウエハー、96ショット、1000J/m2において)。 - ※2 斜め方向のショットひずみ。
ロジック/メモリー/イメージセンサー向けに多様なソリューションで対応
安定稼働で定評がある「FPA-5550iZ」のプラットフォームに「生産性向上」「重ね合わせ精度向上」「カラーフィルタープロセス対応」などのオプション選択が可能で、多様なデバイスプロセスに柔軟に対応できます。
基本仕様
解像力 | ≦350nm |
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NA(開口数) | 0.57〜0.45(自動可変) |
縮小比 | 1:4 |
画面サイズ | 26mm × 33mm |
焼付け波長 | i-Line 365nm |
レチクルサイズ | 6inch |
ウエハーサイズ | 200mm(8inch)/ 300mm(12inch)(選択) |
重ね合わせ精度 | SMO≦18nm, MMO≦25nm(オプション適用時) |
装置サイズ(本体) | (W)2,300×(D)3,660×(H)3,000mm |
主要オプション | 生産性向上オプション 重ね合わせ精度向上オプション 酸素濃度制御システム 非線形アライメント補正機能(EAGA-FL) ケミカルフィルター レジストアウトガス対策ユニット PCリモートコンソール オンライン(GEM-1000, GEM-0304) ペリクル検査装置 |