半導体露光装置向けサービス
Lithography Plus
サービスノウハウとデータの高度活用により生産性向上に貢献
- 概要
- 仕様
基本情報
装置名：Lithography Plus
特長
１．半導体露光装置のサポート業務を効率化
露光装置の状態を分析する機能や定期メンテナンス結果を分析する機能、装置が停止した要因を分析する機能を搭載しています。装置を操作するオペレーターは、これらのデータに基づき、部品交換やメンテナンス等の装置運用計画を容易に作成することができ、露光装置の適切な品質管理が可能です。また、工場内の複数の露光装置データを俯瞰表示する「Dash Board」機能を搭載し、オペレーターのメンテナンス業務をさらに効率化します。
２．半導体露光装置の高稼働率を実現する機能を搭載
露光装置の状態を監視し、異常発生や予兆を検知する「異常検知」機能で、装置の停止を防止します。さらに、「自動復帰」機能により、復旧作業を支援します。自動復帰できない場合は、装置状態を分析し、復旧方法をわかりやすく記載した復旧手順書を提示することで、スムーズな復帰が可能です。また、キヤノンのエキスパートエンジニアがリモートで装置状態を共有・把握し、オペレーターからの問い合わせにきめ細かく応えるリモートコンシェルジュサービスも提供します。
３．レシピ※1最適化機能の搭載による高い歩留まりの実現を支援実現を支援
これまでにキヤノンが培ってきた露光装置の最適化事例を凝縮しレシピを最適化する「プロセスソリューション」機能を搭載しています。精緻な位置合わせや線幅制御設定が自動で最適化されたレシピを提供することで、新しい半導体プロセス投入の初期から高い歩留まり※2の実現を支援します。さらに、APC※3などのプロセス機器とのインターフェースも備えており、生産管理システムとの連係動作が可能です。
- ※1. デバイスや製造工程ごとに異なる製品の製造条件。
- ※2. 生産された製品のうち良品の割合。
- ※3. Advanced Process Control : 最適な処理条件をロット毎に指示する仕組み。前回結果からの反映、前工程結果の予測値の指示等がある。
基本仕様
| 対象装置 | FPA-6300ES6a、FPA-5550iZ2（2022年9月時点） |
|---|---|
| 動作環境 | サーバークライアントシステムを用いたwebアプリケーションシステム |
| サーバー構成 | アプリケーションサーバー、DBサーバー、それぞれキヤノンから貸与 |
| クライアント | ユーザーが用意する。 Chromiumベースwebブラウザが動作するPC 画面解像度 1920×1080 |
| 接続装置台数 | 最大10装置／データベースサーバー毎、10データベースサーバー／アプリケーションサーバー毎 |
| データ保持期間 | 3か月（標準） |
| 業務効率化機能 | ・全装置の詳細な状態表示 ・生産性の予測および向上シミュレーション ・装置毎・工程毎での精度シミュレーション |
| 高稼働率実現機能 | ・予兆・異常の検知、および、自動復旧 ・復旧手順表示※1 ・リモートサービス※2 |
| 最高水準歩留まり実現機能 | ・着工条件の自動最適化 |
- ※1.装置の障害状況に応じた復旧手順書を表示します。
- ※2.ユーザー工場とキヤノンサービス拠点との間を専用回線で接続します。