FPD露光装置
FPD露光装置 MPAspシリーズ
ミラープロジェクション・マスクアライナーMPAspシリーズに代表されるFPD関連の露光装置には、常に量産性と今後への発展性を考慮した数多くの機能や技術が盛り込まれています。
アレイプロセス、カラーフィルタープロセス、タッチパネルプロセスに対応した露光装置ラインアップをそろえ、キヤノンは露光工程分野での、高機能・高生産性を有するMPAシリーズでサポートし続けます。
- ※FPD＝Flat Panel Display
お知らせ
- 2026年8月26日
- フラットパネルディスプレイ（FPD）露光装置向けLED照明オプションを発売
生産性向上と環境負荷低減に貢献
- 製品ラインアップ
- 仕様比較表
- 動画
FPD露光装置 製品ラインアップ
第6世代基板サイズ（1,500mm×1,850mm）
DUV光源を使用した高解像力の中小型ディスプレイ向け露光装置
高解像力の中小型ディスプレイ向け露光装置
車載用の大型特殊ディスプレイも対応可能な中小型ディスプレイ向け露光装置
第8世代基板サイズ（2,200mm×2,500mm）
高生産性と高精細化を両立した大型ディスプレイ向け露光装置
LED照明オプション
LED照明オプション
高照度化によるタクトタイム短縮と約20倍の光源長寿命化により生産性向上に貢献