ニュースリリース

フラットパネルディスプレイ（FPD）露光装置向けLED照明オプションを発売
生産性向上と環境負荷低減に貢献

キヤノンは、第8世代ガラス基板^※1に対応したFPD露光装置「MPAsp-H1003H」（2022年7月発売）向けのオプション^※2として、従来の水銀ランプに代わりLED光源を採用したLED照明オプションを2026年9月上旬に発売します。

近年、ディスプレイ製造では、生産性に加えて環境対応も求められています。新たに発売するLED照明オプションは、従来水銀ランプを使用していた「MPAsp-H1003H」の光源にLEDを採用することで、光源の高照度化や長寿命化、消費電力削減に寄与します。キヤノンは今後、LED照明オプションの対応機種拡充や、顧客に導入済みの装置の光源をLEDにアップグレードする有償サービスを進め、新設装置、既設装置どちらにおいても、生産性向上と環境負荷低減に貢献していきます。

高照度化によるタクトタイム短縮と約20倍の光源長寿命化により生産性向上に貢献

LED光源の採用により、従来の水銀ランプに比べて、照度を40％以上^※3向上させ、タクトタイムの短縮が可能です。また、従来3基必要だった光源ユニットを1基に集約しました。さらに、光源の寿命が、従来の1,000時間から20,000時間^※4に延びました。光源交換の頻度を抑えることで、交換作業に伴う装置停止時間の低減を図り、ディスプレイ製造ラインの安定稼働を支えます。

消費電力削減により装置運用時のコスト削減に寄与

照明ユニットの消費電力を、従来と比べ65％以上^※5削減します。これにより、露光装置全体では10％以上の低電力化を実現し、ランニングコストを抑えます。

水銀廃棄量の削減により環境負荷低減に貢献

露光装置1台あたりの水銀廃棄量を年間1.0kg以上削減^※6します。低消費電力化とあわせて、装置運用における環境負荷低減に貢献します。

• ※1

  2,200×2,500mmサイズのガラス基板で、現在は主にテレビ用ディスプレイのパネル製造に用いられる。

• ※2

  新設装置向け。既設装置向けは今後展開予定。

• ※3

  キヤノン指定の水銀ランプ照度仕様とLED光源照度仕様の比較。

• ※4

  標準運用時の光源寿命を水銀ランプとLED光源で比較。

• ※5

  従来の水銀ランプ運用時の最大消費電力とLED光源運用時の最大消費電力の比較。

• ※6

  装置1台あたりの水銀ランプ使用本数／年 と水銀ランプ1本に含まれる水銀含有量より算出。

画像ダウンロード

本ページに掲載されている画像、文書その他データの著作権はニュースリリース発行元に帰属します。
また、報道用途以外の商用利用（宣伝、マーケティング、商品化を含む）において、無断で複製、転載することは、著作権者の権利の侵害となります。

お問い合わせ先

キヤノン株式会社 光機営業統括センター

電話番号03-5732-8776（直通）
お問い合わせフォームへ