LED照明オプション

製品名

LED照明オプション

特長

高照度化によるタクトタイム短縮と約20倍の光源長寿命化により生産性向上に貢献

LED光源の採用により、従来の水銀ランプに比べて、照度を40％以上^※1向上させ、タクトタイムの短縮が可能です。また、従来3基必要だった光源ユニットを1基に集約しました。さらに、光源の寿命が、従来の1,000時間から20,000時間^※2に延びました。光源交換の頻度を抑えることで、交換作業に伴う装置停止時間の低減を図り、ディスプレイ製造ラインの安定稼働を支えます。

消費電力削減により装置運用時のコスト削減に寄与

照明ユニットの消費電力を、従来と比べ65％以上^※3削減します。これにより、露光装置全体では10％以上の低電力化を実現し、ランニングコストを抑えます。

水銀廃棄量の削減により環境負荷低減に貢献

露光装置1台あたりの水銀廃棄量を年間1.0kg以上削減^※4します。低消費電力化とあわせて、装置運用における環境負荷低減に貢献します。

• ※1 キヤノン指定の水銀ランプ照度仕様とLED光源照度仕様の比較。
• ※2 標準運用時の光源寿命を水銀ランプとLED光源で比較。
• ※3 従来の水銀ランプ運用時の最大消費電力とLED光源運用時の最大消費電力の比較。
• ※4 装置1台あたりの水銀ランプ使用本数／年 と水銀ランプ1本に含まれる水銀含有量より算出。

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