第6世代基板サイズ（1,500mm×1,850mm）
| 項目 | MPAsp-E903T 製品ページへ |
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|---|---|---|---|---|---|
| 解像力 | 1.2µm (L/S), 1.5µm (C.H.) | 1.5μm (L/S) | 2.0μm (L/S) | 3.0μm (L/S) | 1.5μm (L/S) |
| オーバーレイ精度 | ±0.25µm | ±0.3μm | ±0.35μm | ±0.5μm | ±0.3μm |
| 投影光学系 | 等倍反射投影光学系 | 等倍反射投影光学系 | 等倍反射投影光学系 | 等倍反射投影光学系 | 等倍反射投影光学系 |
| 縮小比 | 1：1（等倍） | 1：1（等倍） | 1：1（等倍） | 1：1（等倍） | 1：1（等倍） |
| 外形寸法 | 幅 8,000mm 奥行 11,280mm 高さ 6,400mm |
幅 8,000mm 奥行 9,900mm 高さ 5,700mm |
幅 8,000mm 奥行 9,900mm 高さ 5,700mm |
幅 8,000mm 奥行 9,900mm 高さ 5,700mm |
幅 8,900mm 奥行 11,600mm 高さ 5,900mm |