FPD露光装置

MPAsp-E903T

第6世代基板サイズに対応した高精細FPD露光装置

基本情報

装置名：MPAsp-E903T

特長

FPD露光装置として最高の解像力_※

FPD露光装置として、初めてDUV（深紫外）波長を発光する新光源を搭載しました。 これまでに使われている紫外線よりも短い波長を使用した新光源と、新たに開発した投影光学系により、 解像力1.2µm（L/S）を実現しました。
さらに、位相シフトマスクの使用により、解像力1.0µm（L/S）も可能です。 これにより、ディスプレイのさらなる高精細化に貢献します。

• ※FPD露光装置において。2020年11月16日現在。（キヤノン調べ）

多様な露光モード

新投影光学系と新照明系の搭載に加え、露光モード数を増やしたことで、 多様な回路パターンを効率的に、適した条件で照射できます。
また、インターフェイスが共通の従来製品「MPAsp-E813H」と組み合わせて使用することもでき、 ユーザーのプロセスに適した生産ラインの柔軟な構築を実現します。

オーバーレイ精度の向上

装置内レイアウトと温調システムの改良により、±0.25μmという高いオーバーレイ精度を実現しました。 生産性を維持しながら、オーバーレイ精度を向上し、 ディスプレイのさらなる高精細化を求めるユーザーのニーズに対応します。

基本仕様

MPAsp-E903T