- 概要
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基本情報
装置名：MPAsp-E1003H
特長
第6世代ガラス基板最大※1の露光幅により生産性が向上
大型テレビなどの65型パネルを一括で露光可能な第8世代ガラス基板向け「MPAsp-H1003H」（2022年7月発売）で実績のある投影光学系を搭載したことにより、1.5μm（L/S※2）の高解像力で一度に露光できる幅を約1.2倍※3に拡大しています。１枚のガラス基板につき、従来6ショットの露光が必要であったスマートフォンなどの製品は4ショットでの露光が可能となり、生産性が向上しました。さらに車載用途に使われる横長の大型特殊ディスプレイも繋ぎ目なく2ショットで露光できるため、量産の効率化に寄与します。
- ※1 キヤノン製の第6世代ガラス基板に対応したFPD露光装置において
- ※2 Line and Spaceの略称。LineとSpaceが等間隔に並んだパターン
- ※3 「MPAsp-E813H」と比較
新開発の非線形補正ユニットにより高い重ね合わせ精度を実現
第6世代基板対応の「MPAsp-E813H」（2014年9月発売）と同じアライメント方式を採用しているほか、新開発の非線形補正REI（Real-Time Equalizing distorted Image）ユニットを搭載しています。REIユニットにより露光幅を拡大しても高い重ね合わせ精度を実現します。
プロセス対応力を強化
「MPAsp-H1003H」で実績のある超解像を実現する照明モード切替機構、露光線幅を安定させる露光スリット自動調整（SIC）機構、露光レイアウトに合わせて最適なガラス基板の向きを縦横選択可能にするユニバーサルチャックを踏襲し、さまざまな製造プロセスへの対応力を強化するとともに、品質の安定化にも貢献します。
基本仕様
MPAsp-E1003H
| 解像力 | 1.5μm (L/S) |
|---|---|
| オーバーレイ精度 | ±0.3μm |
| 投影光学系 | 等倍反射投影光学系 |
| 縮小比 | 1：1（等倍） |
| 基板サイズ | 1,500mm×1,850mm |
| 外形寸法 | 8,900（幅）×11,600（奥行）×5,900（高さ）mm |