4つの産業別グループにおける環境配慮の考え方と取り組み
インダストリアルグループの取り組み
私たちインダストリアルグループは、ものづくりを進化させ、人と地球の未来を支えることを目指して、革新的な産業機器で、お客様と新たな価値を共創していきます。長年にわたり磨き上げてきた独自の光学技術や画像処理技術を産業用の機器に応用することで、幅広い産業分野のニーズに応える製品を展開しています。
目標
脱炭素(CO2削減)
i線露光装置※1、およびKrF露光装置※2における、ウエハー1枚当たりの「原材料・使用CO2排出量」を2030年には50%削減(i線:対2008年比、KrF:対2009年比)することを目標としています。
- ※1 FPA-5550iZシリーズ
- ※2 FPA-6000ES6aシリーズ
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資源循環(装置長寿命化)
製品の長寿命化を推進し、2001年以降に出荷したi線露光装置、KrF露光装置に対して、2030年の装置可動95%以上を目標としています。
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戦略
脱炭素
CO2排出に占める「使用CO2」の割合が高いため、省エネルギー対策を推進していきます。
消費電力が増大する最先端ロジック生産工程に、低消費電力のナノインプリント半導体製造装置を導入していきます。
資源循環
製品寿命を延ばすパーツやソフトを提供し、製品ライフサイクルを延ばし廃棄を減らしていきます。
リサイクルを促進する製品の開発を進めていきます。
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ウエハー1枚当たり、原材料・使用CO2 製品1台当たりの改善指数推移
施策
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① 原材料
3D造形の活用により、パーツを小型化・軽量化し、原材料の削減を実現しました。
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② 生産
他社と連携したエネルギーネットワークにより、20%の省エネルギーを実現しました。
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④ 使用・維持
回生電力により、エネルギーの高効率利用を実現し、ピーク時の消費電力を低減していきます。
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④ 使用・維持
高電圧化対応により送電エネルギーのロスを削減し、消費電力を低減していきます。
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⑤ 廃棄・リサイクル
プラスチック選別装置「TR-S1510」を提供し、リサイクルを促進していきます。
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⑤ 廃棄・リサイクル
既製装置に最新の電装パーツやソフトを提供し、製品の延命化を実現していきます。