4つの産業別グループにおける環境配慮の考え方と取り組み
インダストリアルグループの取り組み
私たちインダストリアルグループは、ものづくりを進化させ、人と地球の未来を支えることを目指して、革新的な産業機器で、お客様と新たな価値を共創していきます。長年にわたり磨き上げてきた独自の光学技術や画像処理技術を産業用の機器に応用することで、幅広い産業分野のニーズに応える製品を展開しています。
目標
脱炭素（CO2削減）
i線露光装置※1、およびKrF露光装置※2における、ウエハー1枚当たりの「原材料・使用CO2排出量」を2030年には50％削減（i線：対2008年比、KrF：対2009年比）することを目標としています。
第8世代FPD露光装置における、パネル1枚当たりの「原材料・使用CO2排出量」を2030年には50％削減（対2008年比）することを目標としています。
- ※1 FPA-5550iZシリーズ
- ※2 FPA-6000ES6aシリーズ
資源循環（装置長寿命化）
製品の長寿命化を推進し、2001年以降に出荷したi線露光装置、KrF露光装置に対して、2030年の装置可動95％以上を目標としています。
戦略
脱炭素
CO2排出に占める「使用CO2」の割合が高いため、省エネルギー対策を推進していきます。
消費電力が増大する最先端ロジック生産工程に、低消費電力のナノインプリント半導体製造装置を導入していきます。
資源循環
製品寿命を延ばすパーツやソフトを提供し、製品ライフサイクルを延ばし廃棄を減らしていきます。
リサイクルを促進する製品の開発を進めていきます。
ウエハー1枚当たり、原材料・使用CO2 製品1台当たりの改善指数推移
施策
① 原材料 半導体露光装置
3D造形の活用により、パーツを小型化・軽量化し、原材料の削減を実現しました。
①原材料 / ③流通 / ④使用・維持 スパッタリング装置
小型化により使用材料を13％削減し、輸送由来のCO2排出量を13%削減しました。冷却機構を見直し、エネルギー由来のCO2排出量を24％削減しました。
② 生産
他社と連携したエネルギーネットワークにより、20％の省エネルギーを実現しました。
④ 使用・維持 半導体露光装置
回生電力により、エネルギーの高効率利用を実現し、ピーク時の消費電力を低減していきます。
④ 使用・維持 半導体露光装置
高電圧化対応により送電エネルギーのロスを削減し、消費電力を低減していきます。
④ 使用・維持 FPD露光装置
従来の水銀ランプ照明を、新たに開発したLED照明に置き換えることで、製品の消費エネルギーを約10％低減しました。
④ 使用・維持 ダイボンダー装置
高速リニアモーターと熱膨張を補正する機能により、生産性は35％向上、エネルギー効率は18％改善しました。
④ 使用・維持 有機ELディスプレイ量産装置
高速ロボットの開発により、基板搬送のマシンタイムを短縮し、生産性を向上していきます。
⑤ 廃棄・リサイクル プラスチック選別装置
ラマンプラスチックソーター「TR-S1510」を提供し、リサイクルを促進していきます。
⑤ 廃棄・リサイクル 半導体露光装置
既製装置に最新の電装パーツやソフトを提供し、製品の延命化を実現していきます。