FPD露光装置

FPD露光装置 MPAspシリーズ

ミラープロジェクション・マスクアライナーMPAspシリーズに代表されるFPD関連の露光装置には、常に量産性と今後への発展性を考慮した数多くの機能や技術が盛り込まれています。
アレイプロセス、カラーフィルタープロセス、タッチパネルプロセスに対応した露光装置ラインアップをそろえ、キヤノンは露光工程分野での、高機能・高生産性を有するMPAシリーズでサポートし続けます。