水資源保全の取り組み
半導体・電子部品製造における水使用量の削減

私たちの生活において身近で欠かすことができない半導体。昨今、半導体の需要が高まり半導体の工場が国内・海外を問わず各地に建設されています。半導体の工場では環境やコストの観点から環境負荷の低減が強く求められています。

半導体は製造過程で材料の洗浄や製造装置の冷却に水資源が大量に消費されています。キヤノンアネルバでは環境や顧客のニーズから冷却水をはじめ省資源・省エネルギーを念頭に置き、新しい装置シリーズ「Adastra（アダストラ）」を開発しました。「Adastra」では冷却水の系統を大幅に見直し、冷却水の使用量を従来機と比較して55%削減、エネルギー由来のCO₂排出量を18%削減しました。また、装置構成が柔軟に組み合わせ可能で、半導体をはじめ電子部品の分野でも使用でき、開発や量産のあらゆるシーンにも対応します。

幅広い分野のさまざまな場面で使用していただくことで人と地球の未来に貢献します。