FPD露光装置（大型パネル向け）

大画面化するTV、携帯性向上が進むタブレットやノートPCなどのディスプレイ製造に欠かせないFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置。大型ガラス基板に線幅1.5マイクロメートル(髪の毛の約1/65)の回路を一括で露光することを可能にしています。

一覧ページに戻る

関連動画