FPD露光装置（中小型パネル向け）

スマートフォンなどに使われる液晶・有機ELディスプレイの製造に欠かせないFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置。独自開発の直径1.5メートルの超大型凹面ミラーにより、6インチディスプレイ200枚分の大型ガラス基板に線幅1.2マイクロメートル（髪の毛の約1/75）の回路の一括露光を可能にしています。

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