03'25''
FPD露光装置（大型パネル向け）
大画面化するTV、携帯性向上が進むタブレットやノートPCなどのディスプレイ製造に欠かせないFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置。大型ガラス基板に線幅1.5マイクロメートル(髪の毛の約1/65)の回路を一括で露光することを可能にしています。
制作：2022年7月再生する
スマートフォンなどに使われる液晶・有機ELディスプレイの製造に欠かせないFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置。独自開発の直径1.5メートルの超大型凹面ミラーにより、6インチディスプレイ200枚分の大型ガラス基板に線幅1.2マイクロメートル（髪の毛の約1/75）の回路の一括露光を可能にしています。
制作：2020年11月 03'51''
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制作：2022年7月再生する
ナノインプリントリソグラフィ
ナノインプリントリソグラフィは、スタンプのように型を押しあてて微細な回路パターンをつくり出します。それは微細化と低コストを両立し、さらに、生産時の消費電力を大幅に抑制する半導体製造技術です。
制作：2023年2月再生する