ナノインプリントリソグラフィ

ナノインプリントリソグラフィは、スタンプのように型を押しあてて微細な回路パターンをつくり出します。それは微細化と低コストを両立し、さらに、生産時の消費電力を大幅に抑制する半導体製造技術です。

制作:2023年2月    03'39''

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FPD露光装置(大型パネル向け)

大画面化するTV、携帯性向上が進むタブレットやノートPCなどのディスプレイ製造に欠かせないFPD(フラットパネルディスプレイ)露光装置。大型ガラス基板に線幅1.5マイクロメートル(髪の毛の約1/65)の回路を一括で露光することを可能にしています。

制作:2022年7月再生する

03'51''

FPD露光装置(中小型パネル向け)

スマートフォンなどに使われる液晶・有機ELディスプレイの製造に欠かせないFPD(フラットパネルディスプレイ)露光装置。独自開発の直径1.5メートルの超大型凹面ミラーにより、6インチディスプレイ200枚分の大型ガラス基板に線幅1.2マイクロメートル(髪の毛の約1/75)の回路の一括露光を可能にしています。

制作:2020年11月再生する