ものづくり発想で、革新をつくる。キヤノンの半導体露光装置
半導体デバイスの製造で最重要な工程となるのが、原画となる回路パターンを転写するリソグラフィ工程。この工程の主要部分を占めるのが露光装置。キヤノンでは、半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光装置群を取り揃えています。
お知らせ
- 2023年10月13日
- ナノインプリントリソグラフィ技術を使用した半導体製造装置を発売
シンプルな仕組みで微細な回路パターン形成を実現し幅広い半導体製造を実現
半導体露光装置ラインアップ
KrFスキャナー/ステッパー
i線ステッパー 前工程向け
![](img/5550iz2.png)
高生産性スキャナーミックスアンドマッチ対応 i線ステッパー
![](img/5550ix.png)
i線ステッパー 前工程向け 広画角・高解像力 i線ステッパー
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多様な半導体デバイス製造とCoO(Cost of Ownership)の低減を実現したi線ステッパー
![](img/3030iwa.png)
パワーデバイス、IoT関連デバイス向け、200mm以下の小型基板向け低NA i線ステッパー
i線ステッパー 後工程向け
![](img/5520iv.png)
HRオプション / LFオプション / LF2オプション
高解像力/広画角のオプションラインナップを充実させた先端パッケージング向けi線ステッパー
![](img/8000iw.png)
大型四角基板対応と解像力1.0マイクロメートルを両立したi線ステッパー
ナノインプリントリソグラフィ
![](img/1200nz2c.jpg)
ナノインプリント半導体製造装置
半導体製造向け関連装置
![](img/ms001.png)
複雑化する先端半導体製造工程において高精度でアライメント測定が可能
半導体露光装置向けサービス
ソリューションプラットフォーム
![](img/lithography-plus.png)
サービスノウハウとデータの高度活用により生産性向上に貢献
動画
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半導体露光装置に関するお電話のお問い合わせ
キヤノン株式会社 光機営業統括センター
電話番号 03-5732-8770