新たな産業別グループの現況
インダストリアル

パワーデバイスやイメージセンサーの生産に使われる
半導体露光装置

スマート社会の実現に向けて、
一歩先を行く生産性を届けていきます。

情報社会に必要不可欠な半導体やディスプレイの生産を効率的に。
最先端のイノベーションを実現する最先端の産業機器を提供しています。

いまも、未来も、社会にとっての生命線

スマートフォン、パソコンはもちろん、自動車や家電製品など身の回りのあらゆるものから通信や交通といった社会インフラにいたるまで、私たちの生活は半導体なしでは成り立ちません。
さらにAI、IoT、自動運転、ロボット、宇宙開発など、未来を担う技術の根幹も半導体です。微細な電気回路を半導体につくり込むのが、半導体製造装置。いまや社会にとって生命線といえる装置です。

キヤノンが内製するCMOSセンサー

5Gにも自動運転にも必須の生産装置

キヤノンは1970年に日本初の半導体露光装置を発売。以来50年あまり、社会が半導体に求めるニーズと半導体メーカーの生産性向上をつねに見据えて製品を送り出してきました。
キヤノンが圧倒的な強さを誇るi線(波長365nmの光)を用いる半導体露光装置はロジック、メモリーといった代表的な半導体デバイスのみならず、イメージセンサーや5G通信デバイス、車載向けパワーデバイスなど、多岐にわたる半導体の生産に活躍しています。

ガラス基板にディスプレイの回路を焼き付けるフラットパネルディスプレイ(FPD)露光装置

4Kも、8Kもディスプレイの進化に貢献

液晶や有機ELといったディスプレイの生産にもキヤノンは欠かせない存在です。ガラス基板にディスプレイの回路を露光するフラットパネルディスプレイ(FPD)露光装置は、4Kや8Kテレビといった薄型かつ大型で高精細のディスプレイパネルの生産に貢献。有機ELディスプレイの量産を実現したグループ会社キヤノントッキは、世界で高まる需要に応え続けています。

真空下でナノレベルの成膜を行うスパッタリング装置

グループ内連携でイノベーションをつくり出す

キヤノンは特色あるグループ会社と密接に連携しながら、インダストリアル事業の拡大を図っています。キヤノントッキのほかにも、真空技術を核にLEDやハードディスクの生産に不可欠なスパッタリング装置などを手がけるキヤノンアネルバ、ダイボンダーをはじめとした自動化・省力化機器を生産するキヤノンマシナリーなど、各社が持つ先端技術を生かし、融合させて新たなイノベーションを生み出しています。

半導体チップをプリント基板に接着するダイボンダー

最先端チップを低コストで実現するナノインプリント

次世代に向け、キヤノンはナノインプリントリソグラフィと呼ばれる半導体製造装置の開発に注力しています。露光を使わずハンコのように型を押し当ててナノレベルの微細な回路を形成する技術で、シンプルな設計で装置もコンパクトにできることが特徴です。回路線幅が20nm以下になると巨額の投資が必要とされる半導体生産を低コストで実現できる方式として、半導体メーカーとともに量産化の検証を進めています。

キオクシア四日市工場で量産検証が進むナノインプリント半導体製造装置

戦略的大転換を担う4つの新規事業が実現する社会