開く

産業機器

ナノインプリントが開く、
近未来デジタル社会のとびら。

半導体メモリーの最先端を走る東芝メモリ四日市工場では、キヤノンの「ナノインプリント」技術を応用した半導体デバイスの量産化に向けた検証が進められています。半導体メモリーは回路パターンの線幅を微細化することで、その性能や記憶容量を飛躍的に高めてきましたが近年では、これまでの光による回路パターンの製造プロセスは限界に達したといわれています。
キヤノンはさらなる微細化の壁を乗り越えるために、ナノインプリントと呼ばれる革新的な技術を応用した半導体製造装置を開発。コンパクトかつ半導体製造コストを大幅に低減できる装置として、開発の行方に注目が集まっています。

ナノインプリント技術で
次世代フラッシュメモリーを生産

半導体デバイスの量産化をめざすナノインプリント半導体製造装置

キヤノン宇都宮光学機器事業所におけるナノインプリント技術の開発

あらゆるモノがインターネットにつながるIoT 時代の到来により、さまざまなものに搭載されるセンサーや通信デバイス、データを保存するメモリー、ビッグデータを解析するAI(人工知能)のプロセッサなど、半導体デバイスはこれまで以上に社会にとって不可欠となり、その需要はますます増加しています。
半導体デバイスの進化は、回路の線幅を細くすることで回路パターンの密度を高める「微細化」によって支えられ、半導体露光装置の技術革新が、この微細化や製造コスト削減の鍵をにぎってきました。従来はできるだけ短い波長の光を使う「露光」によって回路パターンの微細化が実現されてきましたが、今後、光のさらなる短波長化は難しく、大きな岐路に立たされています。
キヤノンは、光とレンズで回路パターンを縮小投影する従来の方式に代わり、回路パターンの原版(マスク)をスタンプの要領でウエハー上の樹脂に押しつけ硬化させることで、回路パターンを形成するナノインプリント技術をキヤノンナノテクノロジーズと開発。半導体露光装置の開発で培ってきた制御や計測技術を生かし、高い解像度の回路パターンを忠実に形成することを可能にしました。また、シンプルな原理により、装置自体の小型化も達成しました。
ナノレベルでの欠陥制御技術、重ねあわせ精度の向上、異物の除去技術などを確立したことで、量産化の課題を解決。最新の露光技術EUV(極端紫外線)リソグラフィに比べても、半導体の製造コストを大幅に下げられることから、次世代フラッシュメモリーなどの製造現場での活躍に期待が高まっています。

最先端のものづくりに欠かせない
キヤノンの産業機器

キヤノンマシナリーにおけるダイボンダーの開発

超高真空技術でナノレベルの薄膜形成を実現するキヤノンアネルバ

キヤノングループの産業機器は半導体製造や電子機器製造をはじめ、さまざまな分野のものづくりの現場を支えています。キヤノントッキの有機ELディスプレイ製造装置は、需要が急増する有機ELディスプレイの生産において高い生産性と高品質を提供し、他社の追随を許さない圧倒的な地位を確立。次の成長に向けて、さらなる高精細化や高生産性を追求した新たな技術も開発中です。また、半導体チップを基板に接合する装置、ダイボンダーで独自技術と幅広いラインアップを持つキヤノンマシナリーは、半導体製造装置をはじめ、自動化・省力化装置にいたるまで、世界に一つのカスタムメイドの製造装置を生産しています。さらにキヤノンアネルバは、得意とする真空薄膜形成技術を使い、半導体デバイスや通信デバイスの配線形成のほか、ハードディスクやLED の生産になくてはならないスパッタリング装置を生産。キヤノングループの産業機器は、幅広い製造現場の最先端で活躍し、IT社会に欠かせない存在となっています。
一方でキヤノンは、カメラや事務機で培ってきた画像認識技術や情報処理技術などを融合し、高精度に物体を認識してバラ積み部品のピッキングを可能にした3Dマシンビジョンシステムを製品化しています。今後はさらに、外観検査工程などへも展開することにより、生産現場の自動化や省人化にいっそう貢献していきます。

キヤノン電子の人工衛星が無事衛星軌道へ。
期待が大きく広がる宇宙ビジネス

2017年6月23日、キヤノングループの電子技術や光学技術などを総動員し、キヤノン電子が開発・製造した質量わずか65kgの超小型人工衛星「CE-SAT-I」がインドから打ちあげられ、無事衛星軌道に投入されました。衛星内に搭載されたキヤノンのデジタルカメラ「EOS」や「PowerShot」がとらえた地球の写真が続々と届けられています。今後は、撮影した高解像度画像から価値ある情報を取り出し提供するなど、大きく広がる宇宙ビジネスに第一歩を踏み出しています。