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産業機器

ものづくりの進化なしに
IT社会の進化は
ありえません

キヤノンの産業機器が
IoT時代のものづくりを担っています

有機ELの生産を支えるキヤノン

黒の表現に優れ、高画質・省電力が特徴の有機ELディスプレイ。スマートフォン(以下、スマホ)やテレビなどに採用され、薄型化や折り曲げもできることから、今後も着実に需要の拡大が期待されています。
キヤノントッキの有機ELディスプレイ製造装置は、高い生産性と高品質を誇り、業界のスタンダードといえる圧倒的な地位を確立。キヤノントッキは、キヤノンアネルバやキヤノンマシナリーなどのグループ各社と連携を取りながら、生産・設置・保守サービス活動を行うとともに、さらなる高精細化や高生産性を追求した装置の開発を加速しています。

有機ELディスプレイ製造装置の搬送部

グループ3社が緊密に連携

半導体チップを基板に接合するダイボンダーで高いシェアを持つキヤノンマシナリーは、FA分野でもリチウムイオン二次電池組立設備など、カスタムメイドの自動化装置を生産。キヤノンアネルバは、真空薄膜形成技術を使った半導体デバイスや通信デバイスの配線形成のほか、ハードディスクやLEDの生産に不可欠のスパッタリング装置などを生産しています。
キヤノントッキと合わせ、グループ3社が展開する産業機器は、半導体製造や電子機器製造をはじめ、まさに次世代のものづくりの現場を支えています。3社は一丸となって生産技術・調達・ロジスティクス面でも連携を強めながら、新しい製品やサービスの開発・拡大に貢献していきます。

半導体デバイス生産で活躍するキヤノンアネルバのスパッタリング装置

究極の微細加工技術ナノインプリントリソグラフィ

シリコンウエハー上に微細な回路パターンを光で焼き付ける半導体露光装置は、微細化を実現するために大型化し、巨額な設備投資が必要になってきています。
キヤノンは回路パターンを刻み込んだマスク(型)を、ウエハー上に塗布された樹脂に押し当てるというシンプルな原理でパターンを形成する、ナノインプリントリソグラフィ技術を開発。コンパクトかつ半導体製造コストを大幅に低減できる装置として注目されています。