FPD露光装置
FPD露光装置 MPAspシリーズ
ミラープロジェクション・マスクアライナーMPAspシリーズに代表されるFPD関連の露光装置には、常に量産性と今後への発展性を考慮した数多くの機能や技術が盛り込まれています。
アレイプロセス、カラーフィルタープロセス、タッチパネルプロセスに対応した露光装置ラインアップをそろえ、キヤノンは露光工程分野での、高機能・高生産性を有するMPAシリーズでサポートし続けます。
- ※FPD＝Flat Panel Display
お知らせ
- 2024年5月27日
- 第6世代基板サイズ対応のFPD露光装置、MPAsp-E1003Hを発売
FPD露光装置 製品ラインアップ
第6世代基板サイズ（1,500mm×1,850mm）
仕様比較表
DUV光源を使用した高解像力の中小型ディスプレイ向け露光装置
高解像力の中小型ディスプレイ向け露光装置
車載用の大型特殊ディスプレイも対応可能な中小型ディスプレイ向け露光装置
第8世代基板サイズ（2,200mm×2,500mm）
仕様比較表
高生産性と高精細化を両立した大型ディスプレイ向け露光装置