インダストリアル

デジタル社会を支える超精密ものづくり装置

世界の半導体・ディスプレイ生産を超精密技術でリードしています

半導体製造工程を幅広くカバー
最先端チップの安定供給にも貢献

身の回りの多くの製品に使われる半導体チップ。キヤノンはグループ一体となって、幅広く生産装置を提供しています。回路を形成する「露光」では露光装置が、「成膜」では金属薄膜を形成するキヤノンアネルバ製のスパッタリング装置が活躍。また、AI向け半導体の登場などで、パッケージングに複数機能の集積や微細な重ねあわせが求められるようになり、キヤノンの露光装置が大きく貢献。露光の範囲をつなぎあわせて1つの大型パッケージを形成する「つなぎ露光」技術で業界をリードする一方、「接合」ではチップ固定用装置のダイボンダーをキヤノンマシナリーが展開しています。

ますます広がる高画質ディスプレイ
描写力の裏にある超精密技術

スマートフォンやパソコン、４K・8Kテレビなどをはじめ、高画質のディスプレイは、デジタル社会に欠かせない存在です。大型ガラス基板に微細なディスプレイ回路を描くキヤノンのフラットパネルディスプレイ（FPD）露光装置は、有機ELや液晶のディスプレイ生産を超精密技術で支えています。有機ELディスプレイは、黒をしっかりと再現する描写力と薄型・軽量・省電力という特長によって利用が広がっています。世界に先駆けた蒸着装置によって量産を実現したキヤノントッキは、新たな生産装置や新素材での蒸着を実現するための技術開発にも注力しています。

先端半導体の生産で微細化と省電力化を両立する「ナノインプリントリソグラフィ」

回路線幅の微細化によって、高性能化などの進化を続けてきた半導体デバイス。キヤノンの「ナノインプリントリソグラフィ（NIL）」は、スタンプのように微細な回路パターンを転写する技術で、製造プロセスにおける消費電力も従来の約1/10に大幅削減。課題とされていた微粒子の発生・混入を抑制する技術も確立し、現在は最先端の2ナノノード^※の実現をめざしています。さらに、NIL技術は、先端半導体の生産において重要な「ウエハー表面の平坦化」にも応用が可能で、先端半導体の生産を力強く後押ししています。