インダストリアル

生成AIなどの製造に使われる先端パッケージ向け半導体露光装置

半導体やディスプレイの最前線を
超精密技術で切り拓きます

先端エレクトロニクスのものづくりを支え続ける

豊かなサステナブル社会に向け、エレクトロニクス産業の進化がさらに求められています。キヤノンは、キヤノンアネルバ、キヤノンマシナリー、キヤノントッキのグループ会社3社とともに、あらゆる産業の技術ベースになっている半導体と、人とITをつなぐ入口・出口となるディスプレイの製造装置の分野で、幅広い製造工程をカバーしています。グループ一丸となって超精密技術にみがきをかけることで、社会の発展に必要なものづくりの進化を支えていきます。

半導体製品生産プロセス

半導体製造工程を幅広くカバー

キヤノンは、さまざまな工程で半導体の生産に貢献しています。「露光」工程では、需要が高まるパワーデバイスなどの量産を支える露光装置が世界中で活躍。回路の微細化を担うナノインプリントリソグラフィ技術も有しています。「成膜」工程では金属薄膜をつくるスパッタリング装置、「チップ接合」工程では半導体チップをハンドリングするダイボンダーを生産。さらに、半導体の重ね合わせや複数の機能を集積させ、高性能化するパッケージング分野では、「つなぎ露光」技術で大型化を実現し、急速に成長するAI用の半導体生産を支えています。

装置の構成を柔軟に変更できるキヤノンアネルバのスパッタリング装置
高速・高精度で半導体チップの接合を行うキヤノンマシナリーのダイボンダー

さまざまなディスプレイの生産を独自技術でけん引

液晶・有機ELディスプレイの生産においてもキヤノンは「露光」と「蒸着」の工程で重要な役割を担っています。フラットパネルディスプレイ(FPD)露光装置は、大型の基板にディスプレイ回路を描く装置で、スマートフォンから大画面の高精細テレビまで、美しいディスプレイの生産を超精密技術で支えています。さらに、有機ELディスプレイの生産では、露光工程だけではなく、有機材料をガラス基板上に積層させるために必要な蒸着装置を世界に先駆けて量産化。ディスプレイの進化に貢献しています。

大型の基板に高精細な映像を映し出すための回路を形成するFPD 露光装置
キヤノントッキの有機 ELディスプレイ 製造装置(イメージ)

ラマン分光方式による黒色プラスチックの選別

キヤノンは、分別の際に判別が難しかった黒いプラスチック片を高い精度で選別する技術を確立しました。キヤノン製ガルバノスキャナーでレーザー光を精密に制御し、一つひとつのプラスチック片に照射して計測します。検知・解析にも独自技術を生かすことで、黒色やそれ以外の色であっても材質を的確に分別します。需要の多い再生プラスチックの量を飛躍的に増やせる見込みで、循環型社会の構築に貢献していきます。

計測・制御技術を組み合わせたプラスチック選別装置

産業機器が実現する社会

半導体そのものが進化する。半導体生産も大きく進化する

最先端半導体デバイスの回路を、スタンプのように型を押し当てて形づくるキヤノンのナノインプリントリソグラフィ技術。シンプルな構造で、装置の小型化、消費電力の大幅削減を実現する技術です。

半導体デバイスの増産を支える、IoT時代のリモートサービスが広がっています

半導体デバイス生産で重要な役割を担い、「動いていることがあたりまえ」が望まれる半導体露光装置。キヤノンの新たなリモートサービスが生産性の向上に貢献しています。

有機ELディスプレイをもっと身近に、フレキシブルに

ディスプレイをさらに薄く、美しく、省エネルギーに。人々の利便性を高め、さらなる可能性を持つ有機ELディスプレイの製造で、キヤノンは世界をリードします。

ものづくりの進化なしにIT社会の進化はありえません

スマホやテレビに採用されている有機ELディスプレイの製造装置のシェアで圧倒的な地位を誇るキヤノントッキ。その他のグループ企業とも連携し次世代のものづくりを支えます。

ナノインプリントが開く、近未来デジタル社会のとびら

キオクシア四日市工場で、キヤノンの「ナノインプリント」技術を応用し、製造コストを大幅に低減できる半導体製造装置の検証が行われています。

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4つの産業別グループ