産業機器が実現する社会
ナノインプリントが開く、
近未来デジタル社会のとびら

あらゆるモノがインターネットにつながるIoT 時代の到来により、さまざまなものに搭載されるセンサーや通信デバイス、データを保存するメモリー、ビッグデータを解析するAI（人工知能）のプロセッサなど、半導体デバイスはこれまで以上に社会にとって不可欠となり、その需要はますます増加しています。
半導体デバイスの進化は、回路の線幅を細くすることで回路パターンの密度を高める「微細化」によって支えられ、半導体露光装置の技術革新が、この微細化や製造コスト削減の鍵をにぎってきました。従来はできるだけ短い波長の光を使う「露光」によって回路パターンの微細化が実現されてきましたが、今後、光のさらなる短波長化は難しく、大きな岐路に立たされています。
キヤノンは、光とレンズで回路パターンを縮小投影する従来の方式に代わり、回路パターンの原版（マスク）をスタンプの要領でウエハー上の樹脂に押しつけ硬化させることで、回路パターンを形成するナノインプリント技術をキヤノンナノテクノロジーズと開発。半導体露光装置の開発で培ってきた制御や計測技術を生かし、高い解像度の回路パターンを忠実に形成することを可能にしました。また、シンプルな原理により、装置自体の小型化も達成しました。
ナノレベルでの欠陥制御技術、重ねあわせ精度の向上、異物の除去技術などを確立したことで、量産化の課題を解決。最新の露光技術EUV（極端紫外線）リソグラフィに比べても、半導体の製造コストを大幅に下げられることから、次世代フラッシュメモリーなどの製造現場での活躍に期待が高まっています。