産業機器が実現する社会
半導体デバイスの増産を支える、
IoT時代のリモートサービスが広がっています

「動いていることがあたりまえ」が望まれる半導体露光装置

すべてのものがインターネットにつながるIoT社会はますます進み、いまや半導体がなければ私たちの生活は成り立ちません。コロナ禍をきっかけにした世界的な半導体不足のなか、増産を求められる半導体デバイスメーカーは生産のスピードアップや歩留まり^※向上などに日々全力を注いでいます。
ナノメートル単位という極細な回路を半導体に焼き付ける半導体露光装置は、半導体デバイスの製造プロセスで最も重要かつ複雑な装置のひとつです。半導体の安定生産のためには、定期メンテナンスやチューニングなどのサポートが不可欠ですが、お客さまからは装置の停止時間をゼロに近づけ、「動いていることがあたりまえ」の状態になっていることが望まれています。
この期待に応えるためにキヤノンが提供を開始したサービスが、ソリューションプラットフォーム「Lithography Plus（リソグラフィプラス）」です。日本で初めて露光装置を製品化してから半世紀にわたって積み上げてきたノウハウと半導体製造に関する膨大なデータを統合して、半導体デバイスメーカーの生産性向上に貢献する最適なソリューションを提供しています。

• ※生産された製品のうち良品の割合

サポート業務の効率化、生産プロセスの最適化を実現

Lithography Plusでは、装置の状態、停止要因などの分析がかんたんにでき、さらに複数の装置の状態も同時に把握できるため、露光装置の適切な運用と管理が可能です。オペレーターは部品交換やメンテナンス時期などの計画をスムーズに作成でき、サポート業務の負担を大幅に減らせます。また、異常の予兆を検知し、自動で復旧を行って故障を未然に防止。自動では復帰できない場合も復旧の手順を知らせたり、キヤノンのエンジニアがリモートで装置の状態を共有・把握しながらきめ細かくサポートするサービスも行っています。
そして、新しいデバイスを生産する場合も、つくり始めから高い歩留まりを達成できるように、キヤノンが培ってきた精緻な位置合わせや線幅制御のノウハウを凝縮したレシピ^※を提供。生産プロセスを最適化し、高い生産性を実現します。
Lithography Plusを利用する半導体デバイスメーカーからはすでに「リモートで複数の装置状況を集中管理できて便利」「トラブルの時の復旧効率が大幅に向上した」など高い評価を獲得。急拡大する半導体の需要に応える生産性を実現する新しい時代のサービスとして活躍が始まっています。

• ※デバイスや製造工程ごとに異なる製品の製造条件