MPAsp-H1003T／H803T

基本情報

装置名：MPAsp-H1003T／H803T

特長

第8世代ガラス基板での高精細パネル生産

私たちの身近にある大画面TVはFHDから4K/8Kと画質の向上が進んでいます。さらに、OLED TVをはじめとするプレミアムTVのニーズも高まっていることから、高精細パネルへの要求が高まっています。
MPAsp-H1003T／H803Tでは、第8世代ガラス基板（2200×2500 mm）で、高精細大型パネルの生産を実現しました。

65型パネル一括露光の実現

ディスプレイ生産において、20年以上実績を持つ光学系の基本コンセプトを踏襲しつつ、キヤノン独自の高精度な光学加工技術を採用することで、大画面、高精細TVの生産に対応した解像力、オーバーレイを実現しています。
MPAsp-H1003Tでは、投影光学系の新規開発により、一括露光領域を拡大し、65型パネルの一括露光を実現しました。また、解像力2.0μmを達成しております。

オーバーレイ精度の向上

MPAsp-H1003Tでは、第6世代対応の露光装置「MPAsp-E813H」において実績のある倍率補正技術を採用することにより、非線形形状の補正にも対応可能となりました。これにより、オーバーレイ精度の向上を実現しました。

Dual Line対応による大型パネルMMG^※1

1台の塗布現像装置に対し、FPD露光装置を2台並べるDual Line構成にすることにより、効率的なMMG対応が可能となりました。

• ※1 MMG : Multi Module on Glass。1枚のガラス基板上に、異なるサイズのパネルを配置する方式。これにより、ガラス基板の使用効率が向上する。