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FPD露光装置
MPAsp-H1003T/H803T
第8世代基板サイズに対応したFPD露光装置

  • 概要
  • 仕様

基本情報

装置名:MPAsp-H1003T/H803T

特長

第8世代ガラス基板での高精細パネル生産

私たちの身近にある大画面TVはFHDから4K/8Kと画質の向上が進んでいます。さらに、OLED TVをはじめとするプレミアムTVのニーズも高まっていることから、高精細パネルへの要求が高まっています。
MPAsp-H1003T/H803Tでは、第8世代ガラス基板(2200×2500 mm)で、高精細大型パネルの生産を実現しました。

図:基板サイズの推移

"基板サイズの推移"

65型パネル一括露光の実現

ディスプレイ生産において、20年以上実績を持つ光学系の基本コンセプトを踏襲しつつ、キヤノン独自の高精度な光学加工技術を採用することで、大画面、高精細TVの生産に対応した解像力、オーバーレイを実現しています。
MPAsp-H1003Tでは、投影光学系の新規開発により、一括露光領域を拡大し、65型パネルの一括露光を実現しました。また、解像力2.0μmを達成しております。

オーバーレイ精度の向上

MPAsp-H1003Tでは、第6世代対応の露光装置「MPAsp-E813H」において実績のある倍率補正技術を採用することにより、非線形形状の補正にも対応可能となりました。これにより、オーバーレイ精度の向上を実現しました。

Dual Line対応による大型パネルMMG(※1)

1台の塗布現像装置に対し、FPD露光装置を2台並べるDual Line構成にすることにより、効率的なMMG対応が可能となりました。

  • (※1) MMG : Multi Module on Glass。1枚のガラス基板上に、異なるサイズのパネルを配置する方式。これにより、ガラス基板の使用効率が向上する。

基本仕様

MPAsp-H1003T

解像力
2.0μm (L/S)
オーバーレイ精度
±0.45μm
投影光学系
等倍反射投影光学系
縮小比
1:1(等倍)
基板サイズ
2,200mm×2,500mm
一括露光領域
65型ワイドパネル一括露光
外形寸法
10,500(幅)×12,100(奥行)×5,900(高さ)mm

MPAsp-H803T

解像力
2.0μm(L/S)
オーバーレイ精度
±0.5μm
投影光学系
等倍反射投影光学系
縮小比
1:1
基板サイズ
2,200mm×2,500mm
一括露光領域
58型ワイドパネル一括露光
外形寸法
9,000(幅)×11,600(奥行)×5,900(高さ)mm