半導体露光装置

ものづくり発想で、革新をつくる。キヤノンの半導体露光装置

半導体デバイスの製造で最重要な工程となるのが、原画となる回路パターンを転写するリソグラフィ工程。この工程の主要部分を占めるのが露光機。キヤノンでは、半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光機群を取り揃えています。

半導体露光装置向けサービス

ソリューションプラットフォーム

動画

「半導体露光装置ラインナップ」

「FPA-3030シリーズ紹介」

ご購入をご検討の方

半導体露光装置に関する
お電話のお問い合わせ

キヤノン株式会社
光機営業統括センター

電話番号
03-5732-8770